Phát nguyên liệu silic → Nạp lớp tạo nhám
Tạo nhám → Phủ boron → BSG
Gia công kiềm → POLY → Luyện → PSG
RCA→ALD,
ALD → Lớp mặt trước → Lớp mặt sau → In lưới
Liên kết thân thiện: